真空チャンバー

半導体用語辞典では“チャンバー”とは、内部で化学的・物理的反応を起こさせるために密封された反応容器のことを指します。半導体や液晶パネル(FPD)の製造で使用されるCVD、スパッタリング、エッチング等の各種真空装置は、単独若しくは複数の真空チャンバーを有します。

弊社では半導体、液晶パネル(FPD)業界向けの真空装置のステンレス製真空チャンバーを含む、多種多様な真空チャンバーを製造しています。また、これらの蓄積した製造ノウハウを使って、医療関連分野向けに内面を滑らかに仕上げた特殊ステンレス製チャンバーの製造もしています。

施工範囲

  • 材質はステンレス製
  • 構造はTig溶接による溶接構造
  • 製作可能な最大サイズは1200mm角前後