真空チャンバーの設計・製作

真空チャンバーは内部を真空にするための容器で、半導体、液晶、有機EL向けのスパッタリング、真空蒸着装置や、医療・医薬品関連の滅菌装置の中心部品となっています。

協友製作所は真空チャンバーの中でもステンレス製、溶接構造、非量産、フルオーダーメイドを主として、狭いスペースでも有効に設置できる中小サイズの角型チャンバーを得意としており、多くの導入実績があります。

大型機械を所有する企業では、溶接構造で小ロットの中小型チャンバーの製作は、段取り工数が余分に費やされるため、コスト高になりがちですが、弊社は蓄積した製造ノウハウを使って、コスト徹底して抑え込んで、顧客の要求に応えてまいりました。

加えて、機械加工・溶接だけでなく、協力企業と連携して、材料や真空部品の調達、表面処理に幅広く対応していくことにより、サービス面での充実も心掛けております。

ワーク材質	ステンレス(SUS304、SUS316)、SS400
接合方法	Tig溶接、半自動溶接
製作可能な最大サイズ	1,000mm角前後
構造	Tig溶接による溶接構造
仕様	加熱温度や真空度に応じた仕様に対応致します。・約150°以下の低温域で使用するチャンバーで、JISフランジのOリングによってシールする仕様・約300°以下の中温域で使用するチャンバーで、ICFフランジのメタルガスケットによってシールする仕様・フランジを使用せず、チャンバー壁面に、直接、Oリング溝を加工する事も可能
備考	真空度を高めるために、必要な表面処理や熱処理に対応致します。・チャンバ内壁面の表面精度を高くするための「バフ研磨、電解研磨」・チャンバ内壁面に洗浄や表面処理で付着している気体分子を、熱処理にてガス化させることで事前に残留ガス発生を防止する「ベーキング処理」

特に下記のご要求をお持ちの大学・企業様には、弊社が得意とする真空チャンバーが最適と思われますので、是非、お問合せ願います。

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作品です。材質 SUS304 サイズ幅500mm、長さ1,100mm、高さ350mm 業界、分野半導体関連加工内容マシニングセンター、Tig溶接 …

本品はICFフランジを使用した実験機向けの試作品です。材質 SUS304 サイズ幅250mm、長さ300mm、高さ200mm 業界、分野半導体製造加工内容マシニング、Tig溶接まずは、お気…

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作開発品です。材質ステンレス（SUS304）サイズ幅：600 mm、長さ：600 mm、高さ：500 mm 業界、分野半導体、ディスプレイ加工内…

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作開発品です。材質ステンレス（SUS304）サイズ外径：φ400、高さ：400 業界、分野半導体、ディスプレイ加工内容 NC旋盤、マシニングセン…

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作品で、某有名私⽴⼤学の実験に使われます。製品名真空チャンバー材質 SUS304 サイズ幅250mm、長さ430mm、高さ250mm 業界、分野 …

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作品で、アニール処理過程で使用されています。材質 SUS304 サイズ幅500、長さ500、高さ100 業界、分野半導体・ディスプレイ製造加工内容 …

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作開発品大型NC付き旋盤を工程に追加する事で、円柱形状にも対応が可能材質 SUS304 サイズ外径φ625、高さ500 業界、分野半導体・ディスプレ…

チャンバー内面は、滑らかな仕上面が必要なため、段差を最小限にするために摺り合わせを行い、最終的にバフにて仕上げています。材質 SUS304、SUS316 サイズ幅530mm 長さ420mm 高さ5…

板同士の接合だけでなく、チャンバー外側表面に、袋状の水冷パイプを溶接しています。材質 SUS304、SUS316 サイズ幅1000〜1,200mm 長さ1000〜1,200mm 高さ600mm 業…