真空チャンバー

真空チャンバー

半導体用語辞典では“チャンバー”とは、内部で化学的・物理的反応を起こさせるために密封された反応容器のことを指します。半導体や液晶パネル(FPD)の製造で使用されるCVD、スパッタリング、エッチング等の各種真空装置は、単独若しくは複数の真空チャンバーを有します。

弊社では半導体、液晶パネル(FPD)業界向けの真空装置のステンレス製真空チャンバーを含む、多種多様な真空チャンバーを製造しています。また、これらの蓄積した製造ノウハウを使って、医療関連分野向けに内面を滑らかに仕上げた特殊ステンレス製チャンバーの製造もしています。

施工範囲

  • 材質はステンレス製
  • 構造はTig溶接による溶接構造
  • 製作可能な最大サイズは1200mm角前後

滅菌装置向けチャンバー

チャンバー内面は、滑らかな仕上面が必要なため、段差を最小限にするために摺り合わせを行い、最終的にバフにて仕上げています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 幅530mm 長さ420mm 高さ550mm 業界 医療 …

真空装置向けチャンバー

板同士の接合だけでなく、チャンバー外側表面に、袋状の水冷パイプを溶接しています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 幅1000〜1,200mm 長さ1000〜1,200mm 高さ600mm 業界 真空分野 加工内 …