真空チャンバーとは?

真空チャンバーは内部を真空にするための容器で、半導体、液晶、有機EL向けのスパッタリング、真空蒸着装置や、医療・医薬品関連の滅菌装置の中心部品となっています。

協友製作所の真空チャンバー

協友製作所は真空チャンバーの中でもステンレス製、溶接構造、非量産、フルオーダーメイド、中小型サイズの角型チャンバーを得意としており、多くの納入実績があります。

大型機械を所有する企業では、溶接構造で小ロットの中小型チャンバーの製作は、段取り工数が余分に費やされるため、コスト高になりがちですが、弊社は蓄積した製造ノウハウを使って、コストを徹底して抑えこんで、顧客の要求に応えて参りました。

施工範囲

ワーク材質 ステンレス
接合方法 Tig溶接
製作可能な最大サイズ 1,200mm角前後
構造 Tig溶接による溶接構造
仕様 製造部品は「すべて顧客仕様のカスタムメイド」です。
顧客仕様によるフルオーダー、非量産、小ロットが主体です。
製造途中での、仕様変更にも臨機応変に対応が可能です。
備考 機械加工から溶接まで、自社内で一貫生産します。

特に下記のご要求をお持ちの大学・企業様には、弊社が得意とする真空チャンバーが最適と思われますので、是非、お問合せ願います。

  • 装置の省スペースを重視
  • 小ロット生産および研究開発用

製作実績

真空チャンバー

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作品で、アニール処理過程で使用されています。 材質 真空チャンバー サイズ SUS304 業界 幅500、長さ500、高さ100 業界、分野 半導体・ディス…

真空チャンバー

本事例はホームページを通して、依頼のあった試作開発品 大型NC付き旋盤を工程に追加する事で、円柱形状にも対応が可能 材質 SUS304 サイズ 外径φ625、高さ500 業界、分野 半導体・ディスプレ…

滅菌装置向けチャンバー

チャンバー内面は、滑らかな仕上面が必要なため、段差を最小限にするために摺り合わせを行い、最終的にバフにて仕上げています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 幅530mm 長さ420mm 高さ5…

真空装置向けチャンバー

板同士の接合だけでなく、チャンバー外側表面に、袋状の水冷パイプを溶接しています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 幅1000〜1,200mm 長さ1000〜1,200mm 高さ600mm 業…

まずは、お気軽にお問い合わせください。

弊社では製品・加工に関する技術的なご相談から、見積もりの相談まで幅広く対応しています。

 技術的なご相談・お問合せはこちら