ステンレス製ICFチャンバー
本品はICFフランジを使用した実験機向けの試作品です。 材質 SUS304 サイズ 幅250mm、長さ300mm、高さ200mm 業界、分野 半導体製造 加工内容 マシニング、Tig溶接 まずは、お気軽にお問い合わせくだ …
真空チャンバー（半導体・ディスプレ...
本事例はホームページを通して、依頼のあった試作品で、アニール処理過程で使用されています。 材質 SUS304 サイズ 幅500、長さ500、高さ100 業界、分野 半導体・ディスプレイ製造 加工内容 マシニングセンター、 …
ステンレス製真空チャンバー（円柱形状）
本事例はホームページを通して、依頼のあった試作開発品 大型NC付き旋盤を工程に追加する事で、円柱形状にも対応が可能 材質 SUS304 サイズ 外径φ625、高さ500 業界、分野 半導体・ディスプレイ製造装置 加工内容 …
アルミ製コールドプレート
本事例はホームページを通して、依頼のあった試作開発品 本体に水冷溝を加工し、上から蓋をした後、FSWにて接合 FSW後に、熱源に接する面は、機械加工にて、平面精度を出していく 冷却液の入口と出口の口金部分を特殊なツールを …
純銅製バッキングプレート（長方形型）
純銅は難削材で、切削や接合後に反りが発生します。 水冷蓋の厚みを確保するために、その都度、歪み矯正が必要となります。また傷付き易いので、細心の注意が必要です。 材質 純銅 C1020 サイズ 幅150〜800mm 長さ8 …
ステンレス製コールドプレート（円形）
水冷蓋を本体にTig溶接後に、歪み矯正を行った後、機械仕上加工後、再び歪み矯正を行い、平面度を出しています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 直径400〜900mm 業界 真空分野 加工内容 マシニングセンタ、 …
滅菌装置向けチャンバー
チャンバー内面は、滑らかな仕上面が必要なため、段差を最小限にするために摺り合わせを行い、最終的にバフにて仕上げています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 幅530mm 長さ420mm 高さ550mm 業界 医療 …
真空装置向けチャンバー
板同士の接合だけでなく、チャンバー外側表面に、袋状の水冷パイプを溶接しています。 材質 SUS304、SUS316 サイズ 幅1000〜1,200mm 長さ1000〜1,200mm 高さ600mm 業界 真空分野 加工内 …
純銅製バッキングプレート（円形）
純銅は難削材で、切削や接合後に反りが発生します。 水冷蓋の厚みを確保するために、その都度、歪み矯正が必要となります。また傷付き易いので、細心の注意が必要です。 材質 純銅 C1020 サイズ 直径500mm前後 業界 真 …
純銅製コールドプレート（オーバル型）
純銅は難削材で、切削や接合後に反りが発生します。水冷蓋の厚みを確保するために、その都度、歪み矯正が必要となります。また傷付き易いので、細心の注意が必要です。 材質 純銅 C1020 サイズ 幅300〜400mm 長さ10 …