真空チャンバーの設計・製作

真空チャンバーとは？

真空チャンバーは内部を真空にするための容器で、半導体、液晶、有機EL向けのスパッタリング、真空蒸着装置や、医療・医薬品関連の滅菌装置の中心部品となっています。

協友製作所の真空チャンバー

協友製作所は真空チャンバーの中でもステンレス製、溶接構造、非量産、フルオーダーメイドを主として、狭いスペースでも有効に設置できる中小サイズの角型チャンバーを得意としており、多くの導入実績があります。

大型機械を所有する企業では、溶接構造で小ロットの中小型チャンバーの製作は、段取り工数が余分に費やされるため、コスト高になりがちですが、弊社は蓄積した製造ノウハウを使って、コスト徹底して抑え込んで、顧客の 要求に応えてまいりました。

加えて、機械加工・溶接だけでなく、協力企業と連携して、材料や真空部品の調達、表面処理に幅広く対応していくことにより、サービス面での充実も心掛けております。

施工範囲

特に下記のご要求をお持ちの大学・企業様には、弊社が得意とする真空チャンバーが最適と思われますので、是非、お問合せ願います。

• 装置の省スペースを重視
• 小ロット生産および研究開発用

製作実績

協友製作所の真空チャンバー製造に関する質問

Q1: どのような種類の真空チャンバーを開発していますか？

主にステンレス鋼製の小型から中型の四角形真空チャンバーの開発を専門としています。これらのチャンバーは特定の要件に合わせてカスタムメイドされており、半導体、液晶、有機EL製造、医療用滅菌などの限られたスペースや専門的な用途に最適です。

Q2: 真空チャンバーの製造にはどのような材料を使用していますか？

高品質のSUS304やSUS316ステンレス鋼、およびSS400などの材料を使用しています。これらの材料は耐久性が高く、低アウトガス特性を持ち、真空環境に適しています。

Q3: 真空チャンバーの品質と性能をどのように保証していますか？

真空の完全性を確保するために、リーク検査や圧力低下試験などの徹底した品質管理を実施しています。また、真空性能を向上させるために、バフ研磨、電解研磨、ベーキング処理などの表面処理も行っています。

Q4: 特注真空チャンバーの仕様にはどのようなものがありますか？

さまざまなサイズや形状、材料選択、Oリング溝や金属ガスケットの統合、特殊な表面処理など、多岐にわたるカスタムが可能です。低温から中温の用途に合わせて、特定の要件に合わせたソリューションを提供します。

Q5: カスタム真空チャンバーのプロジェクトの一般的な納期はどれくらいですか？

納期はプロジェクトの複雑さや仕様により異なりますが、一般的には数週間から数か月かかる場合があります。プロジェクトの評価後に、詳細なスケジュールを提供します。

Q6: 設計支援やコンサルティングサービスは提供していますか？

経験豊富なエンジニアリングチームが設計支援やコンサルティングサービスを提供し、技術的および運用上の要件を満たす真空チャンバーの設計をサポートします。コンセプトから最終設計まで、お客様と連携して進めます。

Q7: カスタム真空チャンバーの見積もりを依頼するにはどうすればいいですか？

ウェブサイトまたは電話で直接お問い合わせください。プロジェクトの詳細（アプリケーション要件や仕様など）を提供いただければ、詳細な提案と見積もりを準備します。

Q8: プロトタイプとテストサービスは提供していますか？

はい、プロトタイプおよびテストサービスを提供しており、本格的な生産に入る前に設計の検証が可能です。これにより、設計を詳細にテストし、最終製品がすべての仕様や性能基準を満たすことを確認できます。

Q9: カスタム真空チャンバープロジェクトを開始するにはどうすればいいですか？

お問い合わせフォームまたは電話で直接ご連絡ください。プロジェクトの詳細と要件をご提供いただければ、弊社のチームがカスタマイズされたソリューションを開発し、包括的な提案を提供します。

真空チャンバーの種類（形状別）

四角形（長方形）真空チャンバー

四角形または長方形のチャンバーは、限られたスペースや不規則な形状のエリアに収まりながら、内部スペースを最大限に活用できる実用的な設計です。これらのチャンバーは、製造が容易であり、さまざまなコンポーネントを収容する柔軟性があるため、一般的に使用されています。

用途：半導体製造、医療用滅菌、スペースを効率的に使用する必要があるその他の用途

利点：
-機器配置のために内部容積を最大化。
-他の機器やシステムとの統合が容易。
-製造プロセスが簡単なためコストの削減。
課題：
-真空圧力下での応力点や変形の可能性を管理するための慎重な設計が必要。

円筒形真空チャンバー

円筒形チャンバーは、均一な応力分布と真空の確保・維持の容易さから好まれています。これらのチャンバーは、対称的な環境が求められるプロセスに特に効果的です。

用途：真空蒸着、スパッタリング、プラズマ処理で一般的に使用されます。

利点：
-均一な壁の厚さにより、一貫した性能を提供。
-対称的な形状が高品質な真空の維持をサポート。
課題：
-複雑な機器配置には、四角形のデザインに比べて内部スペースが制限。

カスタム形状真空チャンバー

カスタム形状のチャンバーは、標準的な形状では対応できない特定のアプリケーション要件を満たすために設計されています。これらのチャンバーは、ユニークなプロセスや空間制約に合わせて調整されています。

用途：特殊な研究および産業プロセス、化学気相成長（CVD）、特殊なエッチングプロセスなどに使用されます。

利点：
-正確なニーズや仕様に合わせた設計が可能。
-特殊なポート、フィードスルー、内部構造を統合することが可能。
課題：
-設計および製造が高コスト。
-保守や運用が複雑。

まずは、お気軽にお問い合わせください。

弊社では製品・加工に関する技術的なご相談から、見積もりの相談まで幅広く対応しています。

 技術的なご相談・お問合せはこちら